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氣體質(zhì)量流量控制器價(jià)格值得信賴(lài)「曉韜科技」

2021-06-21







質(zhì)量流量控制器簡(jiǎn)介

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使用范圍: 質(zhì)量流量控制器廣泛應用于半導體制造、真空鍍膜、分析、化工、環(huán)境等 行業(yè)的氣流測量與控制。

特點(diǎn):流量精度高、線(xiàn)性好、零漂小、氣流響應速度快、過(guò)沖小。



流量控制器的工作原理

流量控制器(流量計)利用流動(dòng)流體傳遞熱量改變測量毛細管壁溫度分布的熱傳導分布效應而制成,即熱分布式流量計(Thermal Profile Flowmeter)。 采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量,可以不受溫度壓力的影響。將傳感器測得的流量信號進(jìn)行放大,然后與設定的電壓進(jìn)行比較,用所得的差值信號放大去驅動(dòng)控制調節閥門(mén)。通過(guò)實(shí)時(shí)的流量檢測閉環(huán),去控制流過(guò)通道的流量使之與設定的流量相等。

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質(zhì)量流量計概述

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主要特點(diǎn)

1. 適用多種介質(zhì)

2. 測量準確度高

3. 無(wú)直管段要求

4. 可靠性好

5. 維修率低

6. 具有核心處理器

主要分類(lèi)

質(zhì)量流量計可分為兩類(lèi):一類(lèi)是直接式,即直接輸出質(zhì)量流量;另質(zhì)量流量計一類(lèi)為間接式或推導式,如應用超聲流量計和密度計組合,對它們的輸出再進(jìn)行乘法運算以得出質(zhì)量流量。